연구장비 상세보기

장비기본정보

기관명
(재)철원플라즈마산업기술원
장비명
R2R type 대면적 Web Coater (R2R-type Web Coater)
모델명
제작사(국가)
대한민국
제작년도
2009
용도
생산
분류
시험장비
취득일
2009.07.07
장비설명
*사용분야-고품질 기능성 박막코팅(ITO, SiO2, TiO2, Cu등) 필름생산-1200 mm 대형 R2R Web Coater를 이용한 고품질 ITO 필름 고속 증착공정-Roll-to-Roll 스퍼터링 시스템에서 고효율 캐소드에 의한 고성능 ITO 박막제작
장비구성

성능
*주요스펙-필름종류 : PET, PES, PEI, PI etc.-필름두께 : 25~188µm(PET기준)-필름 폭 : 1270mm이상-유효코팅 폭 : 1230mm이상-필름 롤 직경 : max.Φ520mm-코어 외경(풀림부, 감김부) : 152mm, 6“-냉각수 온도 : 5℃~RT-최대 진공도 : ≤1×10Torr(공정 챔버 내)≤6×10Torr(권취 챔버 내)-펌핑 시간 : ≤3×10Torr(60분 이내)
NTIS NO
E-Tube NO

장비이용안내

사용방법
기관의뢰
사용료유형
시간당
이용료
설치형태
고정
설치장소
(재)철원플라즈마산업기술연구원
장비상태
정상
담당자
김병연
연락처
0334529717
팩스
0334525777
사용방법
전화

주소: (24047) 강원도 춘천시 신북읍 신북로 61-10 강원테크노파크 기술혁신지원센터 TEL/033-248-5611
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